产品 - Axcela 系统配置
The Axcela™ 系统可配置多种预清洁及 PVD 室组合, 具体取决于圆片规格、工序和处理量要求。以下分别一个 200mm 和一个 舱室的示意图。

1 ICP 和 1 PVD

1 ICP 和 2 PVD

1 ICP 和 2 PVD - TSV