应用 - 其他 - 纳米膜
随着膜层技术的日益进步和规格的日益小巧化,纳米膜在新兴技术中的应用正逐渐增多。带连续膜覆盖力和良好形态的纳米厚膜为包膜特性控制带来了很大挑战。

Axcela™ System 提供的Small-Batch-Cluster结构使得该PVD 工具成为了纳米膜淀积的一种极佳选择。
  • 采用旋转圆片实现了均匀覆盖
  • 精确的淀积控制,偏差低于一层
  • 用于更灵活的膜层的多靶材配置

例如:
  • 具有良好一致性的连续式Ta、Ru和Cu纳米膜
  • 最薄的20 Å淀积膜
  • 致密膜
  29A Ru and 220A Ta

  System Configuration: 1 ICP and 2 PVD


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