应用-MEMS
MEMS一般用于压力传感器、加速表、陀螺仪等物理传感器的制造。近年来。其应用已经延伸到射频传输、生物技术及微缩平版印刷术等领域。大多数MEMS技术是基于半导体制造工艺，不同之处是它能实现3维应用。很多此类制造工艺都含物理汽相淀积技术。例如，通过MEMS技术制造的射频MEMS开关便采用多个溅射金属层。