应用-背面金属 (BSM)
背面金属一般用于标准双极及高性能动力与分立器件。BSM的堆叠需要对硅胶施加良好的粘合力和低应力。薄膜的高内在应力可导致粘合力问题和长期耐用性的降低。

典型的BSM工序从粘合层的堆砌开始。粘合层用于促进下衬的半导体表面的粘合。清洁的无氧化物表面对于促进内部原子粘合以形成低热阻抗层是至关重要的,并且常常可使欧姆接触的效果翻倍。然后,对屏障层或润湿层进行淀积,以便促进有效的润湿和与焊剂的良好粘合。该层还需要较低的导热性和应力,以满足机械可靠性要求。然后,淀积阻氧层密封表面,使其免受环境影响。

为实现BSM应用,Axcela system提供下列特性:
  • 高淀积速率(在最常用的背面金属上为>1 µm/min)
  • 高靶材料利用率(>50%)
  • 预清洁能力
  • 射频偏频能力,可最大程度降低内在应力问题
  • 快速换靶和排空(故障停机时间< 1小时)

The Axcela™ 多电源室设计提供了与生俱来的工序优势,包括更低的应力和在单一工序循环内淀积多种材料的能力。上乘的工艺过程和最新的Brooks机器人的结合使得Axcela?系列PVD系统成为功能最强大、最具成本效率的BSM解决方案。
  Backside Metallization

  System Configuration: 1 ICP and 2 PVD


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